HE-900ir은 AUROS Technology의 Overlay 원천 기술을 바탕으로 IR 광원을 이용한 Bonding Overlay 측정 장비입니다.
하이브리드 본딩 공정시 IR Overlay system을 이용하여 정밀한 본딩(Wafer-to-Wafer) 정렬 및 Cu-Cu 연결을 위한 배치 정확성을 측정하는데 최적화된 제품입니다.
- High Throughput
- High Speed Dual Z-Axis Stage
- Data analysis and management
- 12inch automation compatible
- Standalone System