사업분야 Business Field

HE-900ir

HE-900ir은 AUROS Technology의 Overlay 원천 기술을 바탕으로 IR 광원을 이용한 Bonding Overlay 측정 장비입니다.

하이브리드 본딩 공정시 IR Overlay system을 이용하여 정밀한 본딩(Wafer-to-Wafer) 정렬 및 Cu-Cu 연결을 위한 배치 정확성을 측정하는데 최적화된 제품입니다.

  • High Throughput
  • High Speed Dual Z-Axis Stage
  • Data analysis and management
  • 12inch automation compatible
  • Standalone System
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