OL-1000n은 AUROS Technology의 6세대 High-end Overlay 측정 장비로 H/W upgrade와 자체 알고리즘 개발 및 S/W 기능을 추가, 개선하여 정확성, 측정 속도 측면에서 이전 세대 모델 대비 약 10% 향상된 성능을 보유하고 있습니다
OL-1000n은 반도체 메모리(DRAM, NAND)와 로직(Logic)제품의 Overlay측정과 데이터관리를 위한 제품으로 High Stack, Opaque Layer 계측에도 특화되어 있습니다.
- Highest Throughput
- High Resolution & Large FOV Imaging
- Tunable Wavelength / Dual Band
- Dual Camera System
- 12inch automation compatible
- Standalone System