OL-100n은 AUROS Technology의 8 inch Overlay 측정 장비로 Legacy Process 수요 증가에 대비하여 자체적으로 개발한 장비입니다. 12inch Overlay 계측 기술을 토대로 개발되어 동종 장비 대비 뛰어난 성능을 갖추었습니다.

Overlay와 CD 측정이 가능하고, 빠른 측정 속도와 사용 편리성을 갖추고 있습니다.

OL-100n은 기존의 6/8인치 오버레이 시장을 포함하여, 현재 폭발적으로 성장하고 있는 화합물 반도체의 오버레이 계측에 이용할 수 있습니다. Si을 이용한 IGBT, MOSFET와 같은 기종의 화합물 반도체(Power devices)뿐만 아니라 전기차 시장을 고려한 SiC, GaN기반의 제품 및 5G에 활용되는 GaAs등의 Substrate를 이용한 제품의 Overlay 측정에 활용할 수 있습니다.