사업분야 Business Field

OL-900n

OL-900n은 AUROS Technology의 5세대 Overlay 측정 장비로 정밀한 공정 Control을 위한 성능과 빠른 측정 속도로 고객의 최신 Device 제조기술 수요에 부합하도록 개발되었습니다.

OL-900n은 반도체 메모리(DRAM, NAND)와 로직(Logic)제품의 Overlay측정과 데이터관리를 위한 제품입니다.

정밀한 Pattern Matching Algorithm과 고정밀의 Stage기술은 고성능의 노광 (Lithography) 장비의 공정 능력을 모니터링하여 엔지니어들에게 정확한 피드백을 제공합니다.

  • Best accuracy & Yield improvement
  • High precision & Throughput
  • High resolution pattern recognition
  • Accurate Overlay control (AOC)
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