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Wafer Inspection

Market Trend

Wafer Inspection Market

Wafer 검사 시스템은 Device의 품질을 개선하기 위해 생산라인에서 필수 장비입니다.
Wafer 검사 시스템은 기술의 발전과 더불어 사물 인터넷(IoT)이 반도체 산업에 도입되면서 역할이 더욱 중요해졌습니다.

Technology

Wafer의 Backside에 발생하는 결함은 Wafer Fab의 기본 수율 손실의 10%를 차지하는 요인입니다. Backside 결함은 Wafer와 공정의 균일성에 큰 영향을 미칠 수 있으며, Wafer Backside는 증착, Etching 및 CMP 를 포함한 모든 공정 단계에서 오염되거나 손상될 수 있습니다. 이는 연간 수천만 달러의 수익 손실을 야기하는 것으로 제조업체는 손실을 복구하기 위해 모든 공정의 필수 단계로 자동화된 비파괴 Wafer Backside 검사를 진행해야만 합니다. Wafer Backside Inspection 장비는 2D 광학계와 Vision Algorithm을 적용하여 Wafer 뒷면의 Scratch 및 Particle 여부를 검사할 수 있습니다.

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