사업분야 Business Field
OL-800n
OL-800n은 AUROS Technology의 4세대 Overlay 측정 장비로 3세대 장비 대비하여 반복 재현성, 측정 시간, 정확도에서 약 20% 향상된 성능을 보유하고 있으며 AUROS Technology의 기술을 한단계 성숙시킨 중요한 장비입니다.
- Best accuracy & Yield improvement
- High precision & throughput
- High resolution pattern recognition
- Accurate Overlay control (AOC)
- Process monitoring
- Data analysis tool (EUREKA)
- Auto Recipe Optimization (ARO) & ARO manager (Recipe converter)
- Dual Band Color Filter
- Tunable NA
