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HE-900ir

HE-900ir是以AUROS Technology的Overlay原创技术为基础,利用IR光源的Bonding Overlay测定设备。 在混合键合过程中,利用IR Overlay system测量精确键合(Wafer-to-Wafer)对准和Cu-Cu连接的批次准确性。

  • High Throughput
  • High Speed Dual Z-Axis Stage
  • Data analysis and management
  • 12inch automation compatible
  • Standalone System
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