OL-900n是AUROS Technology的第5代重叠测量设备。是以精密的工序控制性能和快速的测量速度满足客户设备制造技术需求的产品。.

OL-900n是为测量半导体存储器(DRAM, NAND)和Logic产品重叠、并管理数据而研发的产品。

精密的模式匹配算法（Pattern Matching Algorithm）和高精密Stage技术通过监测光刻（Lithography）设备的工序能力，为工程师提供准确的反馈信息。