OL-100n是AUROS Technology 8英寸重叠测量设备，是针对 Legacy Process需求的增加而自主研发的设备。 该设备以12英寸重叠测量技术为基础而研发，因此与同类设备相比，其性能更加出色。

另外，不仅测定速度快，使用方便。

OL-100n除可用于现在6/8英寸的重叠市场，还可用于目前迅猛发展的化合物半导体重叠的测量。不仅可用于利用Si的IGBT、MOSFET等机种的化合物半导体(Power devices)，还可用于电动汽车市场基于SiC、GaN的产品及5G中GaAs等使用Substrate的产品的重叠的测量。