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OL-1000n

OL-1000n是AUROS Technology的第6代高末端Overlay测量设备,通过添加和改进H/W upgrade和自身算法开发及S/W功能,在准确性、测量速度方面较上一代模型提高10%左右。

OL-1000n是为半导体存储器(DRAM,NAND)和Logic产品的Overlay测定和数据管理而推出的产品,在High Stack、Opaque Layer的测量上也具有特殊化。

  • Highest Throughput
  • High Resolution & Large FOV Imaging
  • Tunable Wavelength / Dual Band
  • Dual Camera System
  • 12inch automation compatible
  • Standalone System
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