OL-1000n是AUROS Technology的第6代高末端Overlay测量设备，通过添加和改进H/W upgrade和自身算法开发及S/W功能，在准确性、测量速度方面较上一代模型提高10%左右。

OL-1000n是为半导体存储器(DRAM,NAND)和Logic产品的Overlay测定和数据管理而推出的产品,在High Stack、Opaque Layer的测量上也具有特殊化。