事業分野 Business Field

HE-900ir

HE-900irはAUROS TechnologyのOverlay源泉技術を基にIR光源を利用したBonding Overlay測定装置です。

ハイブリッドボンディング工程時、IR Overlay systemを利用して精密なボンディング(Wafer-to-Wafer)整列及びCu-Cu接合のための配置正確性を測定するのに最適化された製品です。

  • High Throughput
  • High Speed Dual Z-Axis Stage
  • Data analysis and management
  • 12inch automation compatible
  • Standalone System
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