HE-900irはAUROS TechnologyのOverlay源泉技術を基にIR光源を利用したBonding Overlay測定装置です。

ハイブリッドボンディング工程時、IR Overlay systemを利用して精密なボンディング(Wafer-to-Wafer)整列及びCu-Cu接合のための配置正確性を測定するのに最適化された製品です。