OL-900nは、AUROS Technologyの第5世代Overlay測定装置で、精密な工程Controlのための性能と測定速度によって、お客さまのデバイス製造技術のニーズに応えるよう開発されました。
OL-900nは、半導体メモリ(DRAM、NAND)とロジック(Logic)製品のOverlay測定とデータ管理のための製品です。
精密なPattern Matching AlgorithmとStage技術は、の露光(Lithography)装置の工程能力をモニタリングして、エンジニアに正確なフィードバックを提供します。
- Best accuracy & Yield improvement
- High precision & Throughput
- High resolution pattern recognition
- Accurate Overlay control (AOC)
- Standalone System