OL-900nは、AUROS Technologyの第5世代Overlay測定装置で、精密な工程Controlのための性能と測定速度によって、お客さまのデバイス製造技術のニーズに応えるよう開発されました。

OL-900nは、半導体メモリ（DRAM、NAND）とロジック（Logic）製品のOverlay測定とデータ管理のための製品です。

精密なPattern Matching AlgorithmとStage技術は、の露光（Lithography）装置の工程能力をモニタリングして、エンジニアに正確なフィードバックを提供します。