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OL-900n

OL-900nは、AUROS Technologyの第5世代Overlay測定装置で、精密な工程Controlのための性能と測定速度によって、お客さまのデバイス製造技術のニーズに応えるよう開発されました。

OL-900nは、半導体メモリ(DRAM、NAND)とロジック(Logic)製品のOverlay測定とデータ管理のための製品です。

精密なPattern Matching AlgorithmとStage技術は、の露光(Lithography)装置の工程能力をモニタリングして、エンジニアに正確なフィードバックを提供します。

  • Best accuracy & Yield improvement
  • High precision & Throughput
  • High resolution pattern recognition
  • Accurate Overlay control (AOC)
  • Standalone System
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