OL-1000nはAUROS Technologyの第6世代High-end Overlay測定装置で、H/W upgradeと独自のアルゴリズム開発及びS/W機能を追加・改善し、正確性、測定速度の面で前世代モデルに比べて約10%向上した性能を保有しています。

OL-1000nは半導体メモリ(DRAM、NAND)とロジック(Logic)製品のOverlay測定とデータ管理のための製品としてHigh Stack、Opaque Layer計測にも特化しています。