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OL-1000n

OL-1000nはAUROS Technologyの第6世代High-end Overlay測定装置で、H/W upgradeと独自のアルゴリズム開発及びS/W機能を追加・改善し、正確性、測定速度の面で前世代モデルに比べて約10%向上した性能を保有しています。

OL-1000nは半導体メモリ(DRAM、NAND)とロジック(Logic)製品のOverlay測定とデータ管理のための製品としてHigh Stack、Opaque Layer計測にも特化しています。

  • Highest Throughput
  • High Resolution & Large FOV Imaging
  • Tunable Wavelength / Dual Band
  • Dual Camera System
  • 12inch automation compatible
  • Standalone System
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