OL-100nは、AUROS Technologyの8inch Overlay測定装置で、Legacy Processの需要増加に備えて独自開発を行った装置です。12inch Overlay 計測技術を基に開発され、同種の装置に比べて優れた性能を誇ります。

尚、測定速度の速さと利便性を兼ね備えています。

OL-100nは従来の6/8インチオーバーレイ市場を含め、現在爆発的な成長を遂げている化合物半導体のオーバーレイ計測に利用できます。Siを利用したIGBT、MOSFETといった機種の化合物半導体（Powerdevices）のみならず、電気自動車市場を見据えたSiC、GaN基盤の製品や、5Gに活用できるGaAsなどのSubstrateを利用した製品のOverlay測定に活用できます。